無塵擦拭布測試參數(shù)：1、細(xì)顆粒物釋放出來(ParticleRelease)微污染細(xì)顆粒物(particles)主要指粒度處于0.1um-100um中間的環(huán)境污染顆粒物,低于0.1um的細(xì)顆粒物針對實(shí)際的生產(chǎn)環(huán)境基本沒有危害,而高于100微米的細(xì)顆粒物為可觀測顆粒物.細(xì)顆粒物環(huán)境污染針對各行各業(yè)的不良影響舉例說明如下所示:A、導(dǎo)致集成電路芯片短路故障，毀